在射頻等離子清洗機(jī)當(dāng)中核心部件就是射頻電源和匹配器，如果在使用過(guò)程中遇到電源啟動(dòng)正常而腔體不放電的情況，那么大概率就是因?yàn)槠渲械钠ヅ淦鞴ぷ鞑徽?，那么匹配器到底出了什么?wèn)題呢？今天就讓我們來(lái)告訴大家。

1、匹配器故障說(shuō)明

①空氣電容損壞

空氣電容在運(yùn)行過(guò)程中摩擦產(chǎn)生導(dǎo)電雜質(zhì)，造成局部短路；摩擦導(dǎo)致動(dòng)片軸損壞，無(wú)法正常調(diào)節(jié)。

②進(jìn)口晶體管故障

與空氣電容動(dòng)片軸損壞有關(guān)，空氣電容無(wú)法正常工作，射頻輸出阻抗無(wú)法調(diào)節(jié)，導(dǎo)致晶體管擊穿；在使用過(guò)程中，匹配器初始值調(diào)節(jié)不當(dāng)，匹配時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或真空腔體內(nèi)輝光放電不穩(wěn)定也會(huì)造成晶體管損壞。

2、匹配器日常使用注意事項(xiàng)

①定期對(duì)真空腔體內(nèi)的插針公母頭進(jìn)行檢查，防止有嚴(yán)重氧化及斷裂現(xiàn)象。

②確認(rèn)電極板擺放正確，無(wú)順序錯(cuò)誤；在使用過(guò)程中如需調(diào)節(jié)極板數(shù)量及間距，必須確認(rèn)匹配器自動(dòng)匹配狀態(tài)，如匹配時(shí)間較長(zhǎng)，則需調(diào)節(jié)初始值。

③定期確認(rèn)匹配器的初始值，長(zhǎng)時(shí)間使用可能會(huì)出現(xiàn)初始值偏移的狀況，需要定期確認(rèn)并根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整。

④如出現(xiàn)初始值嚴(yán)重偏移，則需確認(rèn)匹配器內(nèi)部和空氣電容葉片是否錯(cuò)位及是否有打火現(xiàn)象，如出現(xiàn)此類(lèi)情況，需及時(shí)處理?？諝怆娙莸墓潭ㄈ~片及動(dòng)片在調(diào)到最大時(shí)是基本重合的；如出現(xiàn)打火現(xiàn)象，確認(rèn)葉片有無(wú)燒壞，如燒壞可將燒壞位置打磨后再使用，葉片之間的距離太近也會(huì)出現(xiàn)打火現(xiàn)象。

⑤如出現(xiàn)電容無(wú)法調(diào)節(jié)的情況，可打開(kāi)匹配器，手動(dòng)控制調(diào)節(jié)電容，確認(rèn)葉片電容能否正常旋轉(zhuǎn)。需留意電機(jī)與空氣電容的傳動(dòng)部分是否有無(wú)法轉(zhuǎn)動(dòng)的情況，出現(xiàn)卡死需及時(shí)報(bào)修，如出現(xiàn)齒輪與軸之間打滑，可先自行處理。

3、其他事項(xiàng)

①匹配器是可長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行工作的，平時(shí)需注意觀察及清潔。定期對(duì)匹配內(nèi)部空氣電容區(qū)域進(jìn)行檢查，打開(kāi)蓋板查看是否有空氣電容摩擦產(chǎn)生的雜質(zhì)沉積，如有則需用無(wú)塵布+酒精的方法清潔，因雜質(zhì)通常為導(dǎo)電物質(zhì)不可用氣吹，以免出現(xiàn)打火及控制部分短路。

②當(dāng)匹配器出現(xiàn)無(wú)法正常工作時(shí)，需及時(shí)確認(rèn)電極板擺放、插針公母頭、屏弊盒內(nèi)連接（是否有接觸不良或?qū)щ娖c外壁接觸和距離過(guò)近）、匹配器初始值、內(nèi)部是否清潔、空氣電容是否錯(cuò)位和打火、空氣電容能否轉(zhuǎn)動(dòng)（是否有打滑）、傳動(dòng)電機(jī)是否能夠工作、RF電源是否有輸出以及各連接段是否短路等情況。如匹配器內(nèi)有燒焦的味道和以上問(wèn)題無(wú)法解決，請(qǐng)及時(shí)與專(zhuān)業(yè)人員聯(lián)系。

③匹配器內(nèi)部配件的使用周期是無(wú)法具體確認(rèn)的，這與使用環(huán)境、處理產(chǎn)品、使用是否得當(dāng)?shù)染嘘P(guān)系，主要原因可能是匹配器內(nèi)雜質(zhì)造成了短路或打火。

以上就是當(dāng)射頻電源匹配器出現(xiàn)故障時(shí)，該如何進(jìn)行排查問(wèn)題的介紹，以及一些日常的維護(hù)方法，在射頻等離子清洗機(jī)出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)我們首先需要做的是冷靜下來(lái)問(wèn)題出現(xiàn)在何處，再逐步解決問(wèn)題，通過(guò)這些希望能對(duì)大家有所幫助。

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